生产厂家：中科院沈阳科学仪器有限公司
购置时间：2014年
原        值：46万元
主要指标：入射离子角度：0--85°  入射离子：W、Cr、C、Fe、Pt；
                    离子能量：15-200 eV
用        途：用于考察低能离子与金属表面相互作用，亦可用于金属涂层沉积
样品要求：各类固体基底
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