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生产厂家：北京光电技术研究所 |
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购置日期：2007年 |
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原 值：15万元 |
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主要指标：曲率范围：≥5m 单片测量时间：≤3分钟/片
测试精度：±5% (在R＝±8mm处考核) |
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用 途：薄膜应力分布测量，基片面形、曲率半径测试 |
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样品要求：尺寸：≤100mm，基片：Si、Ga、GaAs |
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联系电话：0931-4968300
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生产厂家：北京光电技术研究所 |
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购置日期：2007年 |
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原 值：15万元 |
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主要指标：曲率范围：≥5m 单片测量时间：≤3分钟/片
测试精度：±5% (在R＝±8mm处考核) |
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用 途：薄膜应力分布测量，基片面形、曲率半径测试 |
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样品要求：尺寸：≤100mm，基片：Si、Ga、GaAs |
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联系电话：0931-4968300
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