结构分析

生产厂家:美国KLA-Tencor公司
购置时间:2016年
原        值:85万元
主要指标:垂直方向分辨率0.1nm,XY自动样品台移动范围152×152mm,Z自动样品台移动范围127mm
用        途:用于分析材料表面的形貌特征、粗糙度及磨损体积
样品要求:各种块体、薄膜样品
联系电话:0931-4968165