生产厂家：美国KLA-Tencor公司
购置时间：2014年
原    值：30万元
主要指标：最大扫描长度：30mm；最大垂直测量范围：800μm；垂直分辨率：最高0.38Å
          测量力：0.03-10mg
用    途：获取微观二维（2D）形貌轮廓，测量表面粗糙度、膜厚以及磨损量
样品要求：各种固态材料，样品厚度不超过20mm
联系电话：0931-4968117