生产厂家：英国Highland Scientific公司
购置时间：2014年
原    值：270万元
主要指标：工作尺寸：Φ500х500mm 工作真空度：5х10-6torr
          射频源：高效等离子源
用    途：用于对轴承、轴瓦、活塞环、缸套等工件内外表面沉积固体润滑薄膜的改性处理
样品要求：熔点（软化温度）200℃以上金属、硅片、陶瓷材料等
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