生产厂家：成都同创材料表面新技术工程中心
购置日期：2010年
原　　值：150万元
主要指标：高能气体离子源，加速电压10-70kV连续可调，最大束流8mA，最大束斑100mm；
　　　　  高能金属离子源加速电压10kV—50kV连续可调，最大束流8mA，最大束斑100mm；
　　　　　低能气体溅射离子源，能量0.5-3.0kV，束流10-100mA可调；
　　　　  低能清洗气体离子源，能量0.5-1.5kV，束流10-50mA可调；
用　　途：各种陶瓷、金属、玻璃、聚合物等表面高能离子注入处理及薄膜沉积
样品要求：固体
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