合成与制备—兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室

发布时间：2010-08-03 | 【大中小】 | 【打印】【关闭】

生产厂家：沈阳科仪
购置日期：2009年
原　　值：56万元
主要指标：等离子体密度：10¹⁰-10¹¹
　　　　电子温度：1-5ev
　　　　极限真空：2×10^-5Pa
用　　途：沉积非晶质碳膜、金刚石薄膜
样品要求：高纯Ar、He、CH₄、C₂H₂、H₂等
联系电话：0931-4968191

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