生产厂家：中科院沈阳科仪
购置日期：2008年  
原　  值：70万元 
主要指标：真空系统：极限真空为5.0×10^-4Pa，漏放：5 Pa/12h；
　　　　  沉积系统：工作压强0.3~10Pa，功率密度5~10W/cm²；工作电压<1000V
用　　途：可用于特殊金属表面及各种基材的镀膜制备及各种装饰膜、半导体膜、介质膜的表面处理
样品要求：各种形状、质地的固体材料
联系电话：0931-4968236