生产厂家：国内联合研制
购置日期：2009年　
原　　值：100万元 
主要指标：真空室尺寸:￠800 mm×900 mm,可镀工件最大尺寸:￠500 mm×500 mm,极限真空度:5×10^-4Pa
用　　途：用于发动机关键零部件及机械密封关键零部件如密封环、轴套等表面强化与润滑薄膜沉积处理
样品要求：适应于各种陶瓷、金属、玻璃、聚合物等表面薄膜沉积
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