生产厂家：北京实力源科技开发有限责任公司
购置日期：2006年　
原　　值：250万元 
主要指标：真空镀膜室尺寸:Ф800×1000mm;本底真空度:2.6×10-3Pa;温度控制:0-400℃;射频功率:0-5000W连续可调;溅射电流:0-30A连续可调
用　　途：镀膜机集成了非平衡磁控溅射、射频等离子体增强化学气相沉积、离子源沉积等技术，能够连续批量生产多种减摩、抗磨、防护以及装饰等功能薄膜与涂层
样品要求： 无
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