生产厂家：中科院沈阳科学仪器研制中心
购置日期：2002年
主要指标：真空室尺寸：￠450mm×400mm 极限真空：≤6.7×10-6Pa
用 途：沉积具有优异摩擦性能的类金刚石薄膜
样品要求：样品尺寸小于300mm
联系电话：0931-4968295
购置日期：2002年
主要指标：真空室尺寸：￠450mm×400mm 极限真空：≤6.7×10-6Pa
用 途：沉积具有优异摩擦性能的类金刚石薄膜
样品要求：样品尺寸小于300mm
联系电话：0931-4968295
