生产厂家：研制
购置日期：2005年
原 值：160万元
主要指标：真空室尺寸：￠900 mm×700 mm，可镀工件最大尺寸：￠200 mm×200 mm，极限真空度：8×10-5Pa。
设备具有以下五种镀膜/辅助镀膜功能：1.等离子体化学气相沉积；2.阴极磁过滤弧（2个）；
购置日期：2005年
原 值：160万元
主要指标：真空室尺寸：￠900 mm×700 mm，可镀工件最大尺寸：￠200 mm×200 mm，极限真空度：8×10-5Pa。
设备具有以下五种镀膜/辅助镀膜功能：1.等离子体化学气相沉积；2.阴极磁过滤弧（2个）；
3.磁控溅射镀膜（孪生靶，2个）；4.冷阴极气体离子辅助沉积；5.金属离子注入掺杂
用 途：沉积各种硬质减摩抗磨薄膜
样品要求：
联系电话：0931-4968294
用 途：沉积各种硬质减摩抗磨薄膜
样品要求：
联系电话：0931-4968294
