生产厂家：中科院沈阳科学仪器研制中心
购置日期：2002年
主要指标：极限真空：5×10-5Pa 离子源能量：100eV-600eV，束流：0～600mA
用 途：沉积各种金属以及碳薄膜材料
样品要求：无特殊要求
联系电话：0931-4968295
购置日期：2002年
主要指标：极限真空：5×10-5Pa 离子源能量：100eV-600eV，束流：0～600mA
用 途：沉积各种金属以及碳薄膜材料
样品要求：无特殊要求
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