生产厂家：国内联合研制
购置日期：2008年　
原　　值：120万元 
主要指标：真空室尺寸:￠800 mm×800 mm,可镀工件最大尺寸:￠300 mm×300 mm,极限真空度:5×10^-5Pa
用　　途：用于各种特殊金属表面及轻质合金表面的镀膜处理、类金刚石膜（DLC）以及其它固体润滑薄膜的制备
样品要求：适应于各种陶瓷、金属、玻璃、聚合物等表面薄膜沉积
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