4月2日，应固体润滑国家重点实验室王立平副研究员邀请，美国AEP Technology公司裴军博士来室进行学术交流，并做了题为“Precision metrology on depth measurement, lateral measurement and defect inspection”的技术报告。裴博士在报告中主要围绕高精度精密形貌及表面测试技术，深入系统介绍了椭圆偏光膜厚测量、非接触光干涉、激光共聚焦以及声波显微技术在材料表面以及形貌检测中的应用和最新研究进展。我室近50位青年科研人员和研究生参加了报告会，并就报告相关内容和裴博士进行了广泛交流和讨论，报告会气氛热烈。该学术报告进一步开阔了研究生的视野，使他们对高精度形貌检测等方面进展有了更深刻的了解。
裴军博士在美国Brandeis 大学获得计算机和物理学学士学位，在美国斯坦福大学获电子工程专业博士学位，之后在世界最大的半导体检测设备制造商KLA－Tencor公司供职10多年。作为该公司仪器部首席科学家，裴博士主要参与了特种电镜以及光学轮廓仪等多种高精度表面测试系统的研发。目前担任美国AEP Technology公司的技术总监，负责微纳形貌检测设备的设计和制造。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 （文/王立平）